水資源管理

氣候變遷,近年來世界各地降雨型態產生了重大的變異,水資源匱乏議題正受到國際之高度關注,且半導體業製程需要使用大量水,新唐科技的用水來源是自來水公司所提供之自來水,並有利用回收少量的雨水及空調冷凝水作為次級用水,節省水的二大主軸策略是優先減少源頭使用以及後端回收使用以降低水資源之耗用。

新唐科技主要產營運據點所在地區為新竹科學園區,取水來源為新竹寶山水庫,透過世界資源研究所的「水資源風險評估工具」調查,來自高或極高基線水壓力地區的總取水量與耗水量百分比皆為零,無取用地下水及海水,評估對當地用水潛在衝擊較低,且園區內之企業所產生的事業廢水及生活污水,均經污水下水道收集匯入園區污水處理廠後,以優於國家放流水標準之水質,經獨立專管放流至客雅溪,未對生態環境和水質造成影響。新唐科技2022 年總取水量為409.722百萬公升;總排放水量為312.09 百萬公升,均依規定進行申報,無廢污水洩漏影響周遭環境之疑慮。

2022年新唐科技自來水總使用量(含回收水)約768.042百萬公升,單位產品用水量約40.1公升 / 層-晶圓光罩或4.01公升 / 平方公分-晶圓,全廠用水回收量為 518.25百萬公升,全廠總回收率為 67.5%。

廢水主要有製程廢水及生活廢水,製程作業廢水來源主要可概分為洗淨、薄膜生成、蝕刻、顯影、擴散等製程,其中將廢水分為酸鹼廢水、含氟廢水及研磨廢水,依特性採用酸鹼中和或含氟廢水先添加氯化鈣,混凝沉澱等相關處理技術相互搭配,使其符合水污染防治措施檢測申報辦法之納管標準,並透過每半年定期採樣分析,確認無超標後排放至新竹科學工業園區污水處理廠處理,再以專管排放至客雅溪;生活廢水則是直接透過下水道排放至園區污水處理廠。

為符合科管局110年新增納管項目-NMP濃度標準,本廠積極評估合適之方法,目前以原物料取代之方法進行中,以為期三年的削減計畫進行NMP之取代,2022年已完成新原物料在產品上的驗證,待2023年上線取代使用,並持續透過水質採樣確認此方法之有效性。

2022年,新唐科技的節水目標是維持與2021年用水量持平。儘管目標是保持現狀,公司仍然提出了一項具體的節水方案。該方案的措施是對晶舟清洗機進行 DI Water 減量,預估每次作業可減省38%的水量,每年可節省約0.015百萬公升的用水量。

透過這樣的節水方案,新唐科技期望在保持用水量不增加的基礎上實現更環保的用水管理,同時降低相關的水資源成本。此外,公司預計在2023年提出進一步減量的計劃,設定減量1%為目標。

此外為提升污水處理效率,有效去除水中污染物,2022年更換了含氟污水整套處理設備,投資金額845萬。

Water CH

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